《表1 亚微米球形硅微粉的化学成分》

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《亚微米球形硅微粉的制备技术研究进展》


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采用ICP和化学分析法对本技术亚微米球形硅微粉的纯度进行研究,亚微米球形硅微粉的化学成分见表1。