《表1 316L不锈钢基底和不同氮气流量下CrNx涂层的电化学参数》

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《氮气流量对反应磁控溅射制备CrN_x涂层性能的影响》

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由表1可以看出：当氮气流量为20，50，60cm3·min-1时涂层的自腐蚀电位与316L不锈钢基底的非常接近，而当氮气流量为30，40cm3·min-1时涂层的自腐蚀电位与316L不锈钢基底的相比发生明显正移；此外，与316L不锈钢基底相比，在氮气流量为30cm3·min-1下涂层的自腐蚀电流密度低了两个数量级，而其他氮气流量下涂层的自腐蚀电流密度均略有增大。自腐蚀电位的高低与腐蚀的难易程度对应，自腐蚀电位越高，腐蚀越难发生。可见在氮气流量为30，40cm3·min-1下制备的涂层具有较好的耐腐蚀性能。自腐蚀电流密度表征的是腐蚀速率：自腐蚀电流密度越小，腐蚀速率越小。可见氮气流量为30cm3·min-1时涂层的耐腐蚀性能最好。涂层的耐腐蚀性能与其表面是否存在钝化膜以及其结构是否致密有关[16-17]。不同氮气流量下制备的涂层在腐蚀过程中均发生了钝化，均存在钝化膜，因此决定其耐腐蚀性能的关键因素是其结构的致密程度。如前所述，当氮气流量为30cm3·min-1时，涂层的致密程度最高，且柱状晶细小，这种结构能够有效阻止腐蚀介质的进入，因此该涂层的耐腐蚀性能最好。