《表3 刀架在闭环控制位移作用下的测试数据》

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《压电陶瓷驱动微进给刀架结构优化设计与实验研究》

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微进给刀架的重复定位精度是用来描述其多次重复输出位移与同一位置的偏差.重复定位精度的测量是在闭环控制状态下利用控制单点位移的方法反复5次测量刀架在上升与下降控制位移作用下的输出位移数据如表3所示.通过表格计算出微进给刀架在闭环控制状态下的重复定位精度为2 nm，达到设计要求.而且通过实验还可以看出在闭环控制状态下的微进刀架系统没有蠕变现象.