《表3 正交试验极差分析结果》

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《248nm准分子激光辅助微铣削加工有机玻璃表面微通道实验研究》

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由表3所示的极差分析结果可知，极差越大的因素，重要程度越高，所以各因素对指标影响的主次顺序为:扫描速度、主轴转速、激光脉冲频率、激光电压、铣削深度；同时，由极差分析得到的最优试验方案组合为A3B1C1D4E4，即:激光电压22 k V（激光器输出能量710 m J），扫描速度0.06 mm/s，铣削深度0.05 mm，激光脉冲频率10 Hz，主轴转速3000 r/min，这与正交试验选出的最优方案A3B1C3D4E2不同，也未出现在正交试验方案中。因此，通过进一步实验得到A3B1C1D4E4参数组合下的微通道底面粗糙度为Ra43.07 nm，说明该方案为最优方案，实验结果见图7。