《表3 氢气热处理MCP参数测试结果》

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《防离子反馈微通道板表面碳污染去除的试验研究》

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氢气热处理防离子反馈MCP是一种全新的分解有机膜技术，即在高温氢气环境中，借助大量H的参与，与有机膜中的C原子通过化学作用生成易挥发的小分子碳氢化合物，从而达到去除C污染的目的。对样品进行400℃，保温1 h氢气热处理后进行测试，结果如表3所示。