《表1 正交试验的因素与水平》

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《氧化石墨烯增强硅烷杂化膜的耐蚀性》

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通过L9（34）正交试验，以硫酸铜滴定试验为评价标准，从而确定杂化硅烷膜的最佳成膜工艺参数。根据相关文献[19-20]及初步试验结果，杂化硅烷膜的成膜工艺各因素水平见表1。