《表3 某TFT-LCD生产过程综合PIT值Tab.3 Comprehensive PITs of TFT-LCD production process》

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《基于过程免疫时间的半导体企业电压暂降经济损失预评估方法》


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(2) 经调研实测得到不同电压暂降深度下关键设备的PIT,结合图4,得到生产过程的综合PIT,如表3所示。然后,绘制综合PIT曲线图,如图6所示。