《表1 某TFT-LCD生产过程关键设备及其PIT值Tab.1 Key equipments and PITs of TFT-LCD production process》

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通过调研和实测，确定某TFT-LCD生产过程在残余电压为0.7pu时的关键设备及PIT值，如表1所示。

图表编号XD0014755700    严禁用于非法目的
绘制时间2018.06.23
作者张旭彬、张逸、张孔林、李为明、郭庆波、李俭华
绘制单位福州大学电气工程与自动化学院、福州大学电气工程与自动化学院、国网福建检修公司、福州大学电气工程与自动化学院、上海合凯电气科技有限公司、上海合凯电气科技有限公司
更多格式高清、无水印（增值服务）

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