《表1 镜像双丝切向进给电火花磨削加工参数》

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《镜像双丝切向进给线电极电火花磨削加工微细轴的关键技术研究》

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微细轴的毛坯直径为500μm、目标直径小于100μm，加工去除余量大。为提高加工效率、保证微细轴加工精度，将加工阶段划分为粗、半精、精加工三个阶段。粗加工选择大放电能量以快速去除绝大多数的加工余量，但粗加工中放电能量较大，放电随机性强，微细轴的直径一致性较差。半精加工主要目的在于改善粗加工后微细轴的直径一致性，为精加工提供直径一致性较好的微细轴。精加工的主要目的在于将微细轴加工至目标直径以进一步提高微细轴的直径一致性。因此不同加工阶段放电量不同，粗磨阶段单个脉冲放电能量大，中磨次之，精磨放电能量较小。粗磨阶段以Y向大步长、Z向大进给速度实现快速蚀除微细轴的加工余量；中磨阶段以Y向中等步长、Z向中等进给速度较快速的蚀除材料且不至产生过切，并改善微细轴的直径一致性；精磨阶段以Y向小步长、Z向小进给速度、主要用于提高微细轴直径一致性。加工参数见表1。