《表1 超声铣磨过程中切向和法向磨削力》

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《微晶材质自由曲面反射镜精密超声铣磨加工技术》

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在3.1节实验基础上，开展了铣磨加工工艺参数的正交实验，获得了不同工艺参数组合情况下的切向磨削力（Fx和Fy）和垂直加工表面方向的磨削力（Fz），实验数据如表1所示。其中，测量磨削力所用到的仪器是压电陶瓷测力仪，超声振幅A设为50%。