《表1 Fe-Si-M非晶薄膜成分[61]》

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《半导体Fe-Si非晶薄膜的成分解析及设计》

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有研究者通过射频磁控溅射法在单晶Si（100）和单晶Al2O3（0001）上制备系列Fe-Si-M（M=C，B，Mn，Al+Co，Al）非晶薄膜，讨论添加第三（四）种元素M对薄膜性能的影响[61]。由替位关系可得，可将C、B和Al的成分与Si的成分同时计，Mn和Co的成分与Fe成分同时计，所有直接带隙Fe-Si-M非晶薄膜的成分都在主团簇[Fe-Si8Fe2]所能主导的成分区内。所有讨论的薄膜成分如表1所示。