《表1 采用不同敏感材料的声表面波传感器的性能比较》

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《一种基于氧化石墨烯的高性能声表面波湿度传感器》

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图9所示为传感器的迟滞性测试结果。传感器的迟滞性测试是利用温湿度测试箱进行的。首先将湿度设置为从低湿度向高湿度增加，然后由高湿度向低湿度降低，记录传感器的谐振频率变化。迟滞性测试表明，传感器在10%RH～90%RH内的迟滞性误差不超过2%，其迟滞性误差较理想。图10为传感器的短期稳定性测试结果。在测试时，将传感器分别放置在LiCl、CH3COOK，KI和KNO3饱和盐溶液环境（分别对应湿度11%RH、22%RH、68%RH和94%RH）下记录传感器的谐振频率变化，记录间隔为5 s。实验结果表明，传感器在11%RH、22%RH和68%RH湿度下，谐振频率均维持在极小的变化范围内；在高湿度（94%RH）下，传感器的谐振频率出现较小的波动，测量的湿度变化不超过0.5%RH，证明传感器具有良好的短期稳定性。与表1中采用其他敏感材料的声表面波传感器的性能相比，本传感器在湿度灵敏度和测量量程方面均有较大进步。