《表1 气体二元扩散系数：氧化镓生长模拟中的流场与反应参数优化研究》
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（单位：m2/s)
设置反应腔的平均温度为1 280K[4]，反应腔内气体的二元扩散系数D经式（1）计算得出，如表1所示。
| 图表编号 | XD00145022100 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2020.08.01 |
| 作者 | 戴必胜、陈琳、陶志阔、修向前 |
| 绘制单位 | 南京邮电大学电子与光学工程学院、南京邮电大学电子与光学工程学院、南京大学电子科学与工程学院、南京邮电大学电子与光学工程学院、南京大学电子科学与工程学院 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
