《表2 多组气压、F2离子浓度下的预电离效果比较》

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《预电离效应对ArF准分子激光特性的影响分析》

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为探究气压和F2浓度对预电离效应的影响，通过设定不同的工作参数，分别在低初始预电离强度（1×1010 m-3）和高初始预电离强度（1×1014 m-3）下对ArF准分子激光气体放电进行了数值模拟，计算得到多组气压和F2离子浓度下的预电离效果，如表2所示。其中，击穿电压下降比γ的定义为在其他工作参数相同的情况下，高强度预电离下的击穿电压值UH与较低强度预电离时击穿电压值UL下降的比率，用公式可表述为