《表1 感应等离子体制备氮化钼（Mo2N）粉体的试验参数》

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《感应等离子体制备超细氮化钼粉研究》

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Mo2N粉制备流程：将上述钼粉装入供粉室，抽真空，通入氮气，启动机组，建立稳定的氮等离子体炬；用氮气将原始钼粉送入等离子体炬，进入等离子体炬的钼粉颗粒在很短的时间内吸收大量的热而迅速气化、裂解，与等离子焰流中的氮离子发生碰撞结合生成Mo2N，新生的Mo2N以极快的速度离开高温区进入水冷收集罐，混有超细Mo2N颗粒的氮气经过二次收集罐除尘过滤，再由真空隔膜泵压缩后，输入气体收集罐实现循环利用。由于生成的Mo2N在高温区停留时间极短，之后气氛温度梯度极大，所以新生Mo2N晶核来不及长大最终以超微粉体被收集。试验参数，见表1。