《表1 有限元计算与刚度计算结果对比》

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《MEMS微机械结构受冲击力学分析》


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在ANSYS中对该折叠梁一端施加50μN的力,另一端固定约束。根据X、Y、Z三方向受力后的位移计算刚度,并将有限元计算结果与理论计算结果进行对比,如表1所示。