《表1 工作台刚度的理论公式计算值与有限元仿真值》

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《二维无耦合微位移工作台的刚度计算与分析》

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选取多组不同的L、r值，固定L0=55 mm，L1=15 mm，b=10 mm，t=1 mm（见图2a和图6），建立有限元仿真计算模型，计算工作台的刚度，并与刚度理论公式计算值相比较。不同尺寸参数下的工作台刚度的刚度理论公式计算值与有限元仿真计算值见表1所列，其中，直梁高度为2r+t，柔性铰链杆总长为L+2r。