《表4 工艺参数对涂层硬度的极差分析》

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《CrAlN抗冲蚀涂层制备及性能研究》

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利用极差分析法分析工艺参数对薄膜硬度的影响，如表4所示，偏压对其影响最大，极差值达到了434.6，其次是气压，最小的是弧流。随着偏压的增加，涂层的硬度逐渐增大。这是由于偏压增加，涂层沉积时离子轰击作用增强，夯实涂层使其致密度提高，同时由于反溅射效应，细化了表面大尺寸液滴，根据Hall-Petch关系，涂层越致密，晶粒尺寸越细小，晶界增多从而阻碍位错运动，最终硬度增大。