《表5 砂粒对涂层侵蚀率的极差分析》

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《CrAlN抗冲蚀涂层制备及性能研究》


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利用极差分析法分析工艺参数对Cr Al N涂层抗冲蚀性能的影响,如表5所示,偏压对其影响最大,其次是靶电流,最小的是气压。