《表3 不同气体种类和分子模型下的物理参数(T=273 K)》

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《矩形微通道Knudsen泵中的气体传输特性研究》

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对于边界条件，将左右边界设置为对称边界条件，以节省计算资源。其他壁面为恒温边界（不随时间变化），不同的是，窄通道水平表面上的温度是线性增加的壁面边界，而宽通道水平表面上的温度是线性减小的壁面边界。宽通道左右两侧分别为高、低温壁面边界。气体与壁面的碰撞模型采用常用的Maxwell完全漫反射模型。在考虑气体种类对传输特性的影响时，模拟气体为纯氮气（N2）、氧气（O2）和氩气（Ar），并采用VHS模型。另外，Ar在分析HS、VHS和VSS分子模型对传输特性的影响中充当模拟气体。为了反映气体稀薄程度带来的影响，考虑了9种不同的工况压力，如表2所列。不同气体种类和分子模型下的气体质量和直径如表3所列。