《表1 多级组合叶列的结构参数》

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《涡轮分子泵多级组合叶列模拟算法的比较研究》

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以F-63/55型涡轮分子泵几何结构[10]为例，选择了前四级涡轮叶列为对象进行模拟计算，叶列的结构参数如表1所列。该涡轮分子泵的额定转速为60 000 r/min，模拟计算的环境是27℃，模拟分子数为1亿个气体分子，选择的分子种类为氮气分子。