《表2 无龟裂缺陷样品和含有龟裂缺陷样品的显微硬度分析表》

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《X射线源用靶材表面的缺陷分析》


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将靶材工作表面未出现的龟裂和含有龟裂缺陷的样品进行显微硬度测试,结果见表2和图2。图3(a)为靶材表面未出现龟裂的样品,图(b)和(c)分别为龟裂纹较小和较大的样品。根据显微硬度测试结果可知,未出现龟裂缺陷周围的硬度值较低,为319;图(b)中裂纹较小,硬度值为416,而图(c)龟裂纹较深较大,其区域附近硬度值为458。因此,龟裂纹缺陷附近的硬度值高于无龟裂区域处,而且龟裂纹越深,该缺陷周围的硬度值越高。