《表1 TZM基钨铼靶各层化学成分%(质量分数)》

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《X射线源用靶材表面的缺陷分析》

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本文探究的靶材为TZM基钨铼结构，其工作表面为钨铼合金，基层为TZM合金，各合金层的实际配比见表1。使用XJL-03立式金相显微镜、JSM-6700F型真空扫描电子显微镜（SEM）附带能谱仪（EDS）观察试样工作表面龟裂缺陷区域及元素分布状态，使用Via-F显微维氏硬度计检测靶材工作表面龟裂缺陷区域的硬度分布。