《表2 实验样品中缺陷的体积分布》

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《熔融石英光学元件亚表面缺陷三维重构技术》

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为了评价石英元件中缺陷的严重程度，除了对缺陷的二维横向大小以及纵向深度进行分析外，经过三维重建后，还可以从缺陷体积的角度来衡量。对图13(a）中缺陷密集处的总视场进行分析，检测区域的横向尺寸为0.83mm×0.83mm，纵向深度为50μm。对重建后的缺陷的体积进行计算，结果如表2所示。检测区域中最大缺陷的体积为636.7μm3，最小缺陷的体积为0.8μm3。本文实验所用熔融石英样品与文献[11]所用熔融石英样品的加工参数较为接近，文献[11]采用破坏性方法检测亚表面缺陷，检测结果如下：亚表面缺陷二维面积的最小值为0.153μm2，最大值为28.31μm2，缺陷的平均深度为18.178μm。本文测得结果与其较为接近。从表2可以看出，待检区域中大部分缺陷的体积在200～400μm3范围内，大尺度缺陷的数目较少，但大尺度缺陷的较大总体积同样会在较大程度上影响光学元件的质量。