《表1 001号和002号载流子浓度测量值》

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《超高纯锗多晶材料制备工艺方法研究》

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由表1分析可得，001号锗多晶载流子浓度数量级均在1010/cm3，达到13 N级别，并且得到的高纯锗多晶的净杂质浓度比较稳定；002号锗多晶载流子浓度数量级在1011/cm3，纯度达12 N级别。