《表2 传感器结构性能比较》

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《低侧向效应MEMS压阻式加速度传感器》

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前文分别从结构设计和FEM仿真对所设计的低侧向效应MEMS压阻式加速度传感器进行了介绍，为了进一步体现所设计的结构具有优越的性能，采用有限元仿真软件对八梁结构、双桥结构进行仿真分析，并与本文所设计的传感器结构进行对比分析。由于本文所设计的复合八梁结构是将八梁结构的4根梁的尺寸缩小或者是在双桥结构的基础上在质量块另一组对边上添加了4根小梁得到的，因此这里取八梁结构各梁的尺寸均为400μm×120μm×22μm，双桥结构各梁的尺寸也为400μm×120μm×22μm，质量块尺寸与复合八梁一致，仿真结果如表2所示。由表2结果可以看出，本文最终设计的复合八梁结构敏感梁上最大应力与八梁结构基本一致，而固有频率却是八梁结构的2倍；与双桥结构相比，虽然梁上应力有所下降，但是其固有频率却得到了很大的提升。