《表1 窗函数性能比较:高量程加速度传感器的结构优化与仿真分析》
μm
综合考虑到传感器的固有频率,灵敏度,阻尼等因素的影响[6],同时考虑到加工条件的限制,设定传感器的参数如表1所示。
图表编号 | XD00184557800 严禁用于非法目的 |
---|---|
绘制时间 | 2021.01.20 |
作者 | 韩文曼、郭涛 |
绘制单位 | 中北大学微米纳米技术研究中心、中北大学微米纳米技术研究中心 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |
μm
综合考虑到传感器的固有频率,灵敏度,阻尼等因素的影响[6],同时考虑到加工条件的限制,设定传感器的参数如表1所示。
图表编号 | XD00184557800 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2021.01.20 |
作者 | 韩文曼、郭涛 |
绘制单位 | 中北大学微米纳米技术研究中心、中北大学微米纳米技术研究中心 |
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