《表2 竖直台阶侧面第1次检测结果平面偏差》

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《基于双目视觉的钣金件边缘检测技术研究与系统开发》

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为了验证SMEIS系统的测量精度，对图14所示的精磨加工的台阶面零件进行了重复性精度验证试验。具体测量对象是该零件表面高度为1mm的竖直台阶侧面，该小平面经过精磨处理，平面度为0.02mm。使用SMEIS系统对该竖直台阶面进行了3次独立检测，获得的数据点总量分别为18028个、19340个、17276个，其中，每条激光点列约10个点，其检测结果如图15所示。分别利用这3次检测得到的数据点拟合平面，并统计每个点到其对应平面的距离，将统计结果绘制成频率分布直方图（图16），统计结果的具体数值分别如表2～4所示。数据显示，SMEIS系统对竖直台阶平面的第1次检测结果的平面偏差平均值μ1为0.0394mm，标准差σ1为0.0301mm，在置信区间（–0.1，0.1）内的置信度为95.5%；第2次检测结果的平面偏差平均值μ2为0.0328mm，标准差σ2为0.0245mm，在置信区间（–0.1，0.1）内的置信度为98.7%；第3次检测结果的平面偏差平均值μ3为0.0383mm，标准差σ3为0.0302mm，在置信区间（–0.1，0.1）内的置信度为95.3%。以上数据表明该系统具有较高的测量精度和测量稳定性。