《表3 极间屏蔽宽度w2对k值的影响》

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《平面阵列电容传感器优化》

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由图5（a）可以看出，加入极间屏蔽后，1-2之间的电容值有所降低，可以通过加入绝缘层的方法来提高电容值，但屏蔽宽度的增加对电容值的影响不大。图5（b）和图5（c）可以看出，与未加入极间屏蔽层相比，电容测量灵敏度和灵敏度均匀性均得到了明显改善。随着屏蔽宽度的增加，相邻电极对之间的测量灵敏度提高，灵敏度均匀性指标P值逐渐减小，表3中电容测量动态范围指标k值与未加入屏蔽时相比有明显降低降低，在宽度为2mm时达到最小。