《表2 边缘屏蔽宽度w1对k值的影响》

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《平面阵列电容传感器优化》


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由于传感器的对称性,依旧选择1-2,1-3,1-4,1-6,1-11,1-16共6组电极对之间的电容值来分析测量灵敏度指标。由图4(a)中可以看出,与图3(a)中未加入边缘屏蔽时相比,空场和满场电容值整体降低。随着其宽度的增加,图4表明1-2间电容值和测量灵敏度变化并不明显,但灵敏度均匀性指标P值逐渐增大,说明屏蔽宽度的增加会使场域内灵敏度分布更加不均匀。在表2中,电容动态测量范围指标k随着屏蔽宽度的增加整体逐渐减小,在宽度为5 mm时达到最小。