《表1 极板间距d对k值的影响》

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《平面阵列电容传感器优化》


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表1是d对k值的影响,测量动态范围指标值先减小后增大,在间距为2 mm时k值最小,说明此时的动态范围最小,但此时P值较大且测量灵敏度较小。综合以上,选取d=3 mm,此时传感器的性能要优于d的其它取值。