《表2 机台涂布防静电液设计》

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《TFT-LCD摩擦工艺ESD研究与改善》


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设备机台涂布防静电液形成极薄的透明膜,提供持久高效的静电耗散功能,对摩擦设备机台涂布防静电液和不涂布防静电液进行测试验证,设计实验如表2所示。