《表4 AlTiCN薄膜在3.5wt%NaCl溶液中的Ecorr和Icorr》

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《C_2H_2流量对阴极弧沉积AlTiCN涂层结构和性能的影响》


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图3为AlTiCN薄膜样品S30、S60和S120在3.5wt%NaCl溶液中的极化曲线。表4为AlTiCN薄膜在3.5wt%NaCl溶液中的Ecorr和Icorr数据。由图3和表2可知,薄膜在阳极极化时发生了明显的钝化,样品S120的腐蚀电位最高,S60和S30的腐蚀电位依次降低。Ecorr和Icorr被用于衡量薄膜的耐腐蚀性能,腐蚀电位Ecorr值越高、腐蚀电流密度Icorr越低表示涂层在电解质溶液中的耐腐蚀性能越好。所以,样品耐腐蚀性能从大到小依次为S120、S60和S30。样品S120较高的耐腐蚀性能可能是因该沉积条件下制备的AlTiCN涂层所含的空洞及孔隙较少,腐蚀液不易渗入所致。