《表1 不同脉冲宽度对于横向热扩散测试的影响》

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从表1测量结果可知,不同的脉冲宽度测试获得不同热扩散系数值,脉冲宽度越小,热扩散系数值越高,但同时信号高度越低,脉冲宽度为20μs时,信号高度仅为0.2 V。对于100μm以下薄膜,测试水平方向的热扩散系数靠近检测限的缘故,会因为检测器的不同,检测信号的能力不一致,故建议尽可能减小脉冲的前提下,信号高度控制在1 V±0.1 V为有效值。当MTC检测器时信号高度为1 V时,所需的脉冲宽度为100μs。而选用In Sb检测器,获得同样有效信号高度时,所需的脉冲宽度为250μs。