《表5 不调焦环节公差分配》

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不调焦过程引入的误差无调焦补偿措施，经过分析给出了不调焦过程公差分配结果，如表5所示，公差分析结果RMS Spot Radious（90%）<1.250μm，RMS Wavefront Error（90%）<0.072λ，该分析结果基本满足要求。