《表4 一次调焦过程公差分配》
一次调焦过程中引入的误差可以通过调节系统焦面位置进行补偿,表4给出了该过程公差分配结果,经过1 000次蒙特卡罗模拟分析,结果RMS Spot Radious(90%)<1.25μm,RMS Wavefront Error(90%)<0.071λ,分析结果满足要求。
图表编号 | XD00119011200 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2020.01.25 |
作者 | 孙永雪、夏振涛、姜守望、王珂、孙征昊 |
绘制单位 | 上海卫星装备研究所、上海卫星装备研究所、上海卫星装备研究所、上海卫星装备研究所、上海卫星装备研究所 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |