《表4 一次调焦过程公差分配》

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一次调焦过程中引入的误差可以通过调节系统焦面位置进行补偿,表4给出了该过程公差分配结果,经过1 000次蒙特卡罗模拟分析,结果RMS Spot Radious(90%)<1.25μm,RMS Wavefront Error(90%)<0.071λ,分析结果满足要求。