《表1 三菱J3驱动器CN1接口需要连接的信号》

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《医用加速器装置的离子源进气系统控制》

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HIMM离子源进气系统被控对象为两个进气针阀，这两个针阀由伺服电机控制，操作针阀开关角度的电机型号为三菱HF-KP13B AC SERVO MOTOR，该电机额定输出功率为100 W，转速3 000 r/min，主轴上安装了18位增量编码器以获取电机旋转信息和24 V DC刹车信号以提供应急保护。与之匹配的伺服驱动器型号为MR-J3-10A，其最大输入脉冲频率为1 MHz，可通过脉冲串控制电机的转速和方向，进行精确定位。该伺服驱动器使用前需要将其CN1端子正确接线（见表1），用户自定义设置PA05，PA13，PA15等参数后才能正常使用[5]。该伺服驱动器CN1端子最少需要连接以下信号才能通过脉冲串控制。