《表2 SiC表面沉积单层成核材料及Ag后的表面信息》

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《基于不同成核层的碳化硅基底反射镜特性研究》

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对沉积金属Ag后的反射镜样品同样用WYKO白光干涉仪迚行测量，其表面粗糙度等信息如表2所示。在三种不同成核材料Cr、Ti和Ge上沉积100nm金属Ag，其表面粗糙度Ra的数值增量Cr>Ge>Ti；镀膜前孔洞深度是一确定值，理想状态下，10nm成核层和100nm Ag在孔洞周围区域会均匀沉积，薄膜材料在孔洞内的沉积量决定了镀膜后孔洞的深度，从而孔洞内沉积材料量的多少影响Rt的数值大小。由表2可以看出RB-SiC表面沉积Ti成核层和金属Ag后，表面细化效果最好。