《表4 典型微孔的加工结果》

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《微流控芯片注塑模具的微细电解加工》

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利用直径40μm的微细圆柱电极连续加工4864个孔，阵列微孔白光干涉仪检测结果见图11，典型尺寸微孔加工精度见表4。可见，利用电极酸洗工艺可实现微孔连续电解加工，且由于电极没有损耗，孔径一致性较好。