《表2 超声电主轴系统关键参数》

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《超声振动辅助微细电化学放电加工系统研究》

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超声电主轴系统是实现超声振动辅助电化学放电加工的核心，主要由超声电主轴、交流变频器、超声发生器、高频直流脉冲电源和工业水冷机5部分组成，其硬件构成如图5所示。其中，超声电主轴主要由上中下三部分构成，上部内装有交流主轴电动机，电动机转速可以通过交流变频器进行实时精确调控；中部内装有超声变幅杆，用于采集由超声发生器产生的超声振动信号，并将其放大后通过工具电极传导至加工区域；超声振动的幅值范围一般为0～15μm，并可通过超声发生器进行精确调节；下部通过专用夹头安装了柱状螺旋工具电极，工具电极可以随主轴电动机进行高速旋转，这有利于抑制不对称放电现象的产生，保证了加工一致性并提高了加工质量。超声电主轴配备有专用工业水冷机用于主轴的冷却降温，能够防止因主轴过热而影响系统寿命和加工可靠性。加工电源采用高频直流脉冲电源（RGMC-120/5/100K），具有调节范围大、频率高、参数稳定的特点，超声电主轴系统的关键参数如表2所示。