《表1 不同应力检测方法对比》

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《碳化硅单晶材料残余应力检测技术研究进展》

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综上所述，关于单晶材料的残余应力测量已经形成了多种各具特色的应力检测技术。表1列出了常用的单晶材料残余应力检测方法的测试原理、材料深度、精度以及测试的优点和局限性。为精确且快速地检测出Si C单晶材料所处的应力状态，应该结合表1来选取适用于构件实际使用情况的检测技术。