《表4 不同烧结曲线的设置对电阻稳定性的影响》
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由实验可以得出：曲线1烧结的电阻试验片，电阻的稳定性好，说明降温速率适宜。曲线2降温速率过快，温度梯度就越大，膜层内部内应力没有完全释放，电阻的稳定性越差。
| 图表编号 | XD00112178200 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2019.11.05 |
| 作者 | 王丽莎、刘利、任荣、薛静蓉 |
| 绘制单位 | 陕西华经微电子股份有限公司、陕西华经微电子股份有限公司、陕西华经微电子股份有限公司、陕西华经微电子股份有限公司 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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