《表2 H粒子分析杂质元素浓度深度分布近似计算法的适用范围表》

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《卢瑟福背散射分析元素浓度深度分布的计算方法研究》

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注：（1）表中“元素”项，括号内为杂质元素，括号外是基体元素；（2）符号“/”左边表示近似计算法适用的最大深度值，单位是μm，“/”右边表示该深度对应的能量损失ΔE，单位是MeV。

近似计算法的适用范围包括两个方面：一是杂质元素深度范围；二是允许的最大深度（深度范围最大值）所对应的能量损失ΔE，该能量损失是指从表面杂质上散射的离子和从靶中某一深度处杂质上散射的离子到达探测器的能量差，它可以从式（3）得到。计算结果如表2和表3所示。