《表1 基体材料对H、He离子阻止本领拟合参数表》

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《卢瑟福背散射分析元素浓度深度分布的计算方法研究》

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卢瑟福背散射分析实验中涉及的阻止本领均可由SRIM2008程序[12-13]。计算得出，其计算误差小于5%。本文主要介绍了5种基体材料（Be、C、Si、Ca和Fe）分别对质子和α离子的阻止本领，计算中质子能量范围为0.2～5.0 MeV，α离子范围为0.5～7.0 MeV。然后使用MATLAB对计算所得一系列阻止本领离散值进行高阶拟合，得出各材料中阻止本领与能量的拟合关系式，如表1所示。