《表1 XRF和ICP-MS在主要性能上的比较[9]》

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《X射线荧光光谱法在药品元素杂质分析中的应用》

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XRF具有分析速度快、检测元素范围广、前处理简便、无污染、成本低廉以及无损检测等优点[7]，可用于各类样品中主、次、痕量多元素同时测定。根据分光方式不同，XRF可分为波长色散型（WDXRF）和能量色散型（EDXRF）。WDXRF具有较高的分辨率，体积大，需要较强的光源和专用的晶体光学元件，因此仅限于实验室中使用。实验室级EDXRF自20世纪60年代早期开始使用，随着硬件和软件的不断发展，手持式及便携式EDXRF的研发在近三十年中逐渐深入，其性能接近于实验室用EDXRF。根据X射线出射、入射角度还可分全反射X射线荧光光谱（TXRF）、掠出射X射线荧光光谱（GEXRF）和掠入射X射线荧光光谱（GI-XRF）等[8]。目前同时配备XRF和ICP-MS是国外分析实验室的趋势，利用XRF分析含量较高的元素，用电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）分析低浓度的元素[8]。XRF和ICP-MS在主要性能上的优点和局限性见表1所示[9]。