《表2 不同响应标准拟合剥离液较优组份及含量》

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《DOE实验设计开发高效的光刻胶剥离液》

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二乙二醚丁醚及N-甲基吡咯烷酮为有机溶剂，乙醇胺为有机碱，加入添加剂200或添加剂300是为了提高剥离效果。利用Minitab对表1的数据进行处理:以R1进行响应优化，得到其拟合较佳的成分组成如表2的配方2；以R2进行响应优化，得到其拟合较佳的成分组成如表2的配方1。