《表1 各涂层的工作气压与厚度》

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《空心微球上Al-W多层涂层的制备与表征》

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利用微小刀片对空心球的赤道进行切割，采用扫描电镜获得微球多层涂层的剖面形貌图（图2）。对微球涂层的厚度进行测量，在同一圆周上每间隔30°测量其厚度，取平均值作为厚度代表值，纯钨涂层因涂层脱落壁厚存在较大误差，故其厚度不计，各涂层的平均壁厚值如表1所示。利用壁厚均匀性计算公式[16]计算涂层的壁厚均匀性。