《表1 C4H8/H2放电及诊断的实验参数》

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《基于质谱诊断的C_4H_8/H_2等离子体状态在放电腔室的径向分布研究》

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Note:numbers 1and 6are the same experiments

本实验采用射频辉光放电的PECVD系统，如图1所示。通过MKS型流量计分别控制通入锥形石英管的C4H8和H2的流量值。锥形石英管顶部半径为10 mm，底部半径为20mm，外壁用铜线圈缠绕。分别利用插板阀（VAT，DN-160）和射频电源（COMDEL，CV-500）控制施加在铜线圈的工作压强和射频功率，从而使C4H8/H2混合气体在锥形石英管中等离子体化。产生的等离子体经锥形石英管进入圆柱形放电腔室（内部直径为250mm，高度为315mm）。本实验在质谱外面加装一个波纹管，从而实现质谱探头的径向移动。通过水平移动质谱诊断不同径向位置的等离子体参数，具体实验参数如表1所示。