《电机工程手册 第2卷 电工材料 第11篇 半导体材料》

第1章概述1

1 半导体材料的种类及其应用范围1

2 半导体材料的导电特性1

3 半导体材料的晶体结构4

第2章硅、锗4

1 硅、锗单晶的基本参数和要求5

2 硅、锗单晶中的杂质及其对单晶和器件性能的影响7

3 硅、锗单晶中的晶体缺陷及其影响13

4 硅、锗器件工艺中常用的相图14

5 单晶片的加工15

第3章化合物半导体和固溶体半导体18

1 砷化镓18

2 其他Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体21

3 Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体22

4 Ⅳ-Ⅵ族化合物半导体及碳化硅23

5 几种固镕体半导体23

第4章单晶参数的测量和单晶中微量杂质分析24

1 导电类型的测定24

2 电阻率的测量25

3 非平衡少数载流于寿命的测量28

4 杂质补偿度等物理量的测量29

5 晶体缺陷的观测31

6 晶向的测定31

7 单晶中微量杂质分析31

参考文献32