《等离子体喷射法气相生长金刚石》

目 录1

绪论1

第一节金刚石的结构、性能与应用1

二、金刚石膜的后处理 162

第二节 气相生长金刚石的工艺发展过程9

一、气体活化方法及设备11

第三节气相生长金刚石的工艺研究现状11

二、气体成分与配比17

第四节气相生长金刚石的机理研究22

第一章低温等离子体的性质30

第一节等离子体的分类30

第二节低温等离子体的热流体力学性质32

一、等离子体的温度32

二、等离子体的电导34

三、等离子体的传热37

四、热流体力学问题40

五、等离子体传热的微观机制42

六、等离子体的焓47

三、激光拉曼散射方法的应用 148

七、等离子弧柱中的热绕流48

八、等离子体的流动与热泳现象52

一、洛伦兹力场中的热驱动流56

第三节低温等离子体的电磁学性质56

二、气体的电离与电流密度60

三、电子在电场中的扩散63

四、等离子体流与磁场的相互作用65

五、等离子体的电磁辐射与碰撞73

第四节电弧等离子体的特性77

一、电弧等离子炬77

二、电弧的分流与脉动80

三、电极材料的选择85

四、电极过程86

五、电弧等离子体的热力学性质90

六、高频与燃烧等离子炬92

第一节 电源设计与输出伏安特性96

第二章等离子体喷射气相生长金别石的设备96

一、等离子炬的负阻特性96

二、电源的下降型输出伏安特性99

三、气体的放电特性102

四、电源的设计105

第二节真空与气体控制系统109

一、真空及水冷系统109

二、气体控制系统112

第三节安全保护系统114

一、非安全因素及其防止114

二、控制电路系统119

第四节适用于气相生长金刚石的等离子炬122

一、高焓电弧加热器122

二、气相生长金刚石的等离子炬124

三、增加金刚石生长面积与提高内在质量的技术措施130

四、大截面柔性弧等离子炬136

第五节提高热效率的途径138

第三章等离子体喷射气相生长金刚石的工艺142

第一节气体浓度的影响142

一、气体的计量142

二、气体浓度对金刚石内在质量的影响145

第二节等离子体能量密度的影响152

一、等离子体能量密度对金刚石生长速率的影响152

二、等离子体能量密度的变化以及对金刚石质量的影响154

第三节等离子体喷射气相生长金刚石的工艺发展159

一、强化基片冷却与前处理159